Недавно компания Wuhan Taiziwei Optoelectronics Technology Co., Ltd. представила фоторезист T150 A, который успешно прошёл проверку на массовом производстве полупроводников. Это достижение может стать значительным шагом вперёд для китайской полупроводниковой отрасли благодаря полностью разработанной формуле продуктаю
Сравнение с другими продуктами
Фоторезист T150 A сопоставим с основной серией фоторезистов KrF от ведущих международных компаний. В частности, он демонстрирует экстремальное разрешение 120 нм в процессе литографии, что превосходит известный фоторезист UV1610 из той же серии. T150 A предлагает большую технологическую гибкость, более высокую стабильность и отличную адгезию после запекания. Кроме того, он лучше сочетается с процессами травления, обеспечивая превосходную вертикальность боковых стенок в базовом диэлектрике.
Импорт и зависимость от иностранных поставок
Несмотря на успехи, Китай по-прежнему сильно зависит от импорта фоторезистов, особенно для высококачественной продукции. В 2023 году общая стоимость импорта светочувствительных химических веществ составила 2,177 миллиарда долларов США, из которых 52,8% пришлись на Японию. В первой половине 2024 года импорт из Японии увеличился на 16,7% по сравнению с предыдущим годом.
Конкуренция на рынке
На глобальном рынке фоторезистов доминируют японские и американские производители, такие как JSR Corporation и DuPont-Rohm and Haas. В то время как уровень локализации производства в Китае остается низким — менее 5% для KrF и менее 1% для ArF[1][2]. Однако китайская индустрия фоторезистов активно развивается, и ряд отечественных компаний, таких как bcmaterial и RedAvenue, уже добились значительных успехов.
22.10.2024